恆與科技股份有限公司
Infinity Joint Technology Inc.

精密設備隔減振/震
最佳解決方案 Seismic Isolation Solution for Precision Equipment

工程分析為基礎,整合設計、產品、測試與現場導入

設備隔震 · 設備減震 · 耐震腳座設計與分析 · 現場振動問題解決方案

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設備耐震與振動問題
整合型技術夥伴

恆與科技聚焦於「精密設備與環境端」的防護需求,從振動診斷、隔減震/振設計,到產品開發與驗證導入,提供可整合至產品與專案的工程解決方案

Infinity Joint Technology — with our technology.

半導體精密設備現場
Services · 服務方案

全方位設備防護
從診斷到導入的工程解決方案

恆與科技提供精密科技產業可整合至產品與專案的完整防護技術鏈,不是單一零件供應,而是設備防護系統設計與現場問題解決能力的一條龍服務。

設備隔震/振

降低地震或外部振動傳入設備,亦可隔離設備振動傳出。透過隔震平台將機台與地面解耦,有效阻絕振動源頭。

  • 振動衰減率 > 90%
  • 被動式 / 主動式可選
  • 適用各類型精密設備
  • 多年成功地震驗證實績
設備減震/振

以阻尼材料抑制地震對設備物的危害。透過專案設計之阻尼技術大幅吸收並耗散振動能量,保護精密元件。

  • 最大加速度可下降約 35%
  • 依需求專案設計之阻尼系統
  • CIP
  • 環境振動抑制
設備耐震減振腳座設計

兼顧設備固定、錨栓安全、抗拉拔與減振路徑。整合地震力計算、結構模型建置與有限元素應力檢核。

  • 固定片、螺栓、減振腳座、減振固定片
  • 適用各科學園區與建物內部安裝位置
  • FEM 有限元素分析
  • 施工建議與安裝諮詢
分析與驗證

現地量測、頻譜分析、傳遞率估算、POC 與效益確認。從振動傳遞路徑辨識到數值模擬與現場驗證的整合策略。

  • 現地振動量測診斷
  • VC 曲線比較分析
  • 傳遞率與自然頻率量測
  • POC 測試驗證與效益確認
Challenges · 產業挑戰

精密設備面臨的挑戰
從產品設計到現場導入,振動、耐震與環境控制需求同時出現

地震風險

設備位移、碰撞、管線拉扯與停機風險,皆可能造成嚴重損失與製程中斷。

高頻振動

馬達、幫浦、Chiller 等設備振源,可能影響樓板、鄰近設備與量測穩定性。

製程敏感與良率

半導體、光電與伺服器等精密設備,對振動、穩定度與稼動率要求嚴苛。

固定與減振衝突

L 型角鋼、錨栓與耐震固定,可能形成振動傳遞路徑,影響隔減振效益。

現場整合限制

安裝高度、管線配置、維修動線、既有孔位與 cleanroom 條件,皆限制設計彈性。設備商不只要滿足功能需求,更要同時兼顧可靠度、耐震安全與現場可施工性。

Core Values · 核心流程

恆與科技的核心價值
以工程分析為起點,讓解決方案能被設計、製造、驗證與導入

01
量測診斷

現地振動量測
設備/樓板反應確認

02
工程分析

頻譜、自然頻率
傳遞率與受力檢核

03
方案設計

隔震(振)/減震(振)
構造與產品整合

04
原型製作

材料、治具、腳座等
客製設計

05
POC 導入

測試驗證
現場效益確認

對設備商的價值

可成為產品規格、客製專案、客戶現場改善與驗收資料的一部分。

對終端客戶的價值

降低停機風險、減少周邊振動、提高大震後維持營運能力。

對專案導入的價值

以可量測、可分析、可驗證的方式降低導入不確定性。

從診斷到導入,形成可落地、可驗證的設備防護技術鏈
Team · 專業研發團隊

高階工程人才
跨域技術背景,支撐設備防護方案的分析、設計與導入

蔡木森 博士
Co-founder · Structural Engineering
  • 台灣大學土木所結構組畢
  • 10年以上半導體設備防震設計
  • 機房防震設計、伺服器防震設計
  • 博物館文物防震設計
  • T 公司設備隔震與減震案例超過千台
  • 設備隔震與減震機構研發
游忠翰 博士
游忠翰 博士
Co-founder · Earthquake Engineering
  • 台灣大學土木所結構組畢
  • 曾任國家地震工程研究中心副研究員十年以上
  • 具備豐富場域與機械設備之量測、分析與試驗經驗
  • 耐震設計規範發展委員會籌備小組
  • 中華民國結構工程學會 隔減震委員會委員
  • 中華建築隔震消能構造協會 秘書長
75%
碩博士占比
50%
工程職位
5
合作大學
學術合作網絡 Academic Partners
國立臺灣大學國立臺灣大學
國立臺灣科技大學國立臺灣科技大學
國立陽明交通大學國立陽明交通大學
國立中興大學國立中興大學
國立中央大學國立中央大學
設備隔震原理動畫:未固定 vs 固定 vs 設備隔震
↑ 動態示意圖 · Animated diagram

隔震原理

— 01
地震波傳入地面

地震發生時,能量以P波與S波形式向四周傳遞,頻率通常介於0.1~10 Hz,直接作用於建築基礎與樓板。

— 02
In-Joint 隔震平台阻斷傳遞

In-Joint 隔震系統安裝於機台底部,利用低剛性彈性元件或主動控制致動器,使設備自然頻率遠低於地震頻率,有效解耦。

— 03
機台保持靜止,製程零中斷

地震期間,機台幾乎不動,particle count 維持在正常水準,製程不中斷,損失為零。

隔震系統剖面示意圖 CROSS-SECTION DIAGRAM GROUND / 地面 FLOOR SLAB / 樓板 ISOLATOR ISOLATOR In-Joint 隔震基板 STATUS OK FURNACE TUBES / 爐管 PRECISION TOOL / 精密機台 DECOUPLED / 解耦
Simulation · 效果模擬

地震波形對比
安裝前後振動衰減

未安裝隔震 · WITHOUT ISOLATION
原始震動 RAW
安裝 In-Joint 隔震後 · WITH ISOLATION
衰減 >90%
Interactive · 互動模擬

即時地震模擬器
調整震度,觀察 In-Joint 防護效果

5.0 M
中度地震 · Moderate
1.5 Hz
中度地震
可能造成輕微損壞,精密製程受影響
In-Joint 保護 · PROTECTED
0
Particle Failures
設備穩定,製程正常運行
未安裝隔震 · UNPROTECTED
0
Particle Failures
設備穩定

台積電實裝案例
爐管機台零損失實證

TSMC · 台積電指定安裝

台積電(TSMC)作為全球最先進的晶圓代工廠,對製程穩定性要求極為嚴苛。爐管機台(Furnace Tool)進行高溫擴散與氧化製程,對振動極度敏感,任何微小位移都可能導致晶圓上的微粒污染(particle contamination)。

"地震期間,安裝 In-Joint 的機台 particle failure 數量為零。"

某次規模 6 以上地震發生時,同廠區內未安裝隔震的爐管機台出現大量 particle failure,造成數批次晶圓報廢,損失慘重。而安裝 In-Joint 系統的機台,particle count 完全維持正常水準,製程絲毫未受影響。

此次實證充分驗證 In-Joint 隔震系統在真實地震事件下的卓越防護效果,為半導體廠房設備防震樹立了最高標竿。

0
安裝 In-Joint
Particle Failures
嚴重
未安裝機台
Significant Loss
爐管機台 Furnace Tool 爐管機台(現場)
Particle Failure 對比 · TSMC Furnace Tool Seismic Event
● 數據來源:實際地震事件紀錄
● 地震規模:6 級以上
● 對比組:同廠區相同機型
● 衡量指標:Particle Count (0.3μm+)

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專業顧問一對一服務

無論是新廠規劃、既有設備補強,或是尋求符合 SEMI S2 的隔震解決方案,Infinity Joint Technology 的工程師團隊將為您提供客製化評估與建議。

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